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帕克 ADR AFM能够实现先进的坐标转换和更强的视觉,利用晶圆边缘和缺口来自动实现缺陷检查设备和AFM之间的连接。由于它是完全自动化的,因此不需要任何单独的步骤来校准目标缺陷检查系统的移动
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